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減震器電離子鍍裝置特點

發(fā)布時間:2020-10-30 14:21
 
減震器電離子鍍裝置特點
①蒸發(fā)、離化和加速三種過程可分別獨立控制。離化是靠射頻激勵,而不是靠加速直流電場激勵,基體周圍并不產(chǎn)生陰極暗區(qū)。
減震器在10-3~10-1Pa高真空環(huán)境下也可穩(wěn)定放電工作,離化率高,可達5%-15%.提高了沉積粒子的總能蟹,改善了鍍層的致密度和結晶的結構。因此制備的鍍層表面缺陷及針孔少,膜層質量均勻致密,純度高.質最好。尤其對制備氧化膜和氮化膜等化合物膜十分有利。
③易進行活性反應離子鍍.合成化合物和對非金屬基體沉積具有優(yōu)勢。
④基體沮升低.操作方便,易于控制。
減震器電離子鍍裝置特點
減震器
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